有机化学品纳米颗粒物分析

纳米颗粒物属于微观颗粒，随着半导体制程的升级，ICP-MS在检测、表征和定量分析纳米颗粒方面可以比光散射检测技术提供更多的信息，且比SEM、AFM等分析速度更快。

一次进样分析，可同时定性和定量分析16种纳米颗粒物的尺寸大小、粒径中位值、粒径分布和颗粒物数量，同时给出元素的离子浓度和背景等效粒径等信息。

纳米颗粒物的种类

可分析样品：

超高纯碱：TMAH、NH₃H₂O等

超高纯有机化学品：IPA、PGME、PGMEA、OK-73、EKC、ST-44等

光刻胶

UPW

硅片

化合物半导体芯片（第三代半导体芯片）