空气分子污染物分析（AMC-非颗粒污染物）

随着半导体制程水平越来越高，制造过程中的环境洁净度要求，尤其是对洁净室环境及相关位置的微量杂质进行控制，对洁净度进行评价非常重要。SCA使用有效的采样技术和高灵敏度的分析方法，提供合适的洁净室AMC评估。

空气中危害生产工艺和产品并因此引起成品率降低的化学物质，称为气态分子污染物（AMC）

主要来源

● MA（Molecular Acids，酸性分子污染物）∶来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程以及扩散等工序,主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。

● MB（Molecular Bases，碱性分子污染物）︰来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序，主要污染物为NH₃。

● MC（Molecular Condensable organic Compounds，可凝结的分子有机化合物）︰来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂清洗过程，主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物。

● MD（Molecular Dopants，分子掺杂物）∶来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体，如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B,H,)等，除部分在工艺中反应消耗外，其余均以尾气的形式排放。

挥发性有机物分析（VOC）

◆ 苯、 甲苯、乙苯、邻二甲苯、1,1,2,2,-四氯乙烷、乙酸乙酯、二氯甲烷、三氯甲烷、1,2-二氯乙烷、 丙酮、异丙醇、正己烷、六甲基二_硅氧烷、3-戊酮、正庚烷、环戊酮、乳酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、对二甲苯、2-庚酮、苯乙烯、苯甲醚、苯甲醛、1-癸烯、2-壬酮、1-+二烯、溴苯、三溴甲烷、丁苯、仲丁基苯、叔丁基苯、四氯化碳、氯苯、二氯甲苯、对氯甲苯、一氯二溴甲烷、 1,2-二溴-3-氯丙烷、1,2-二溴乙烷、1,2-二氯苯、1,3-二氯苯、1,4-二氯苯、1,1-二氯乙烯、1,3-二氯丙烷、1,1-二氯丙烯、六氯-1,3-二烯，异丙基苯、4-异丙基甲苯、萘、丙基苯、1,1,1,2-四氯乙烷， 三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、1,2,4-三甲基苯、均三甲苯、四氯乙烯、1,2,3-三氯苯、1,2,4-三氯苯、 1,1,2-三氯乙烷等全定量分析。

◆ 特点：热脱附或苏玛罐采样

◆ DL：<0.1 ug/m3

阴/阳离子分析

◆ 酸性物质（Acids）：F^-，Cl^-，Br^-，NO₃^-，SO₄^2-，PO₄^3-，CH₃COO^-

◆ 碱性物质（Bases）：H₄⁺

◆ 特点：Impinger 采样，MA/MB < 0.1 ppb（at. UPW ; lon Chromatography）

同时SCA也可提供预清洁的采样瓶

◆ 洁净PFA采样瓶（超高纯试剂专用）：用SCA独特 的清洗方法，以去除PFA瓶中阳离子及颗粒物等杂质,以满足超高纯试剂痕量元素分析实验的需求，无机元素分析结果<1ppt。

● 容量：50ml、100ml、250ml、500ml

● 多元素< 1ppt （at. UPW）

◆ 洁净PP采样瓶（阴离子专用）：按无尘室MA/MB要求提供Impinger采样瓶，广口瓶适合实验室操作使用

● 容量：100ml MA/MB < 0.2 ppb（at. UPW ; lon Chromatography）