超纯水（UPW）在多个生产步骤中与晶圆表面直接接触，其主要用于湿化学稀释、晶圆清洁和浸没式光刻操作。
随着制程工艺的提升，其规格将更严格,而纯度的要求和产量的污染风险因工艺而异，因此高灵敏度的分析对于整个过程分析至关重要。
SCA实验室提供的测试方法,其分析产品的灵敏度符合SEMI的标准，且可以满足客户特定的严于SEMI的SPEC。
由于UPW中Metal、Anion、Bacteria需离线测试，因此需要专业人员上门进行采样：
1. 针对不同的测试项目，我司专业采样人员会准备不同材质的采样瓶进行采样。
2. 除了将不同项目对采样瓶进行区分外，针对高规格的超纯水，我司还有专业的采样箱，来降低环境对采样过程的污染风险。
3. 提供各种模式的服务。
4. 由资深工程师到客户现场进行采样和在线测试，在线测试更能符合客户严苛的SPEC要求。
5. 如客户只需离线进行测试，则我司会提供采样指引，由客户自行采样并寄送至实验室进行分析。
6. 若客户没有洁净的采样瓶，则可联系销售人员申请采样瓶。
