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半导体制程污染控制已成为一门学科,是制造半导体期间必须掌握的关键技术之一。无论是单晶制造还是工艺过程中人为掺杂,在引入有用杂质的同时也不可避免地引入一些其他有害的杂质,特别是金属杂质,这些金属杂质是以离子形式出现并且是移动的。当这些可移动的离子超过一定数量时,同样会引起期间的失效。因此,这些可移动的离子必须控制在一定范围内。
半导体化学实验室无论是监控Chemical还是DIW都会有Na元素,而Na也是最常见的可移动离子污染物,而且移动性最强,因此,对Na的控制也成为芯片生产的首要目标。可移动污染物问题特别是对MOS器件影响更为明显,因为MOS器件是表面电荷控制器件。
在器件生产过程中化学品的应用是不可避免的,有些化学品将导致晶片表面受到不必要的刻蚀,或者生成无法除去的化合物等,Cl就是其中之 一的污染物,所以,工艺过程中用到的化学品Cl的含量必须受到严格控制。洁净化学实验室通常是测试样品中金属离子、阴阳离子、颗粒物等痕量化学指标来达到生产过程监控的目的。
如果在设计时没有选用适当的材料,当新建实验室投入使用后,难免会发现K、Na、Ca等轻质量元素BEC比较高。
洁净化学实验室设计是一项复杂的系统工程,与其他洁净室不同,它所要求的不仅仅是颗粒物,同时还需要对有机污染物、金属污染等进行管控。需要根据客户不同的化学测试项目、所用到的仪器、实验室需达到的检出能力等进行多方面的综合设计进行定制,其设计规划主要有六个方面:平面设计系统、单台结构功能设计、供排水系统、电控系统、气体输送系统、有害气体输出系统。而很多材料实验室或刚转型的实验室在设计洁净化学实验室时候,由于经验不足,会选择一些仅做过生物洁净室的厂商来对实验室进行设计,而在完工验收时才发现,实验室由设计的正压实验室变成了实际的负压实验室。
附加服务
除了测试服务,SCA还可以提供一对一客制化实验室服务,这可以缩短实验室建设周期,使实验室尽可能快的投入运营。
SCA 提供设计建造交钥匙工程
苏州赛米肯分析技术有限公司坐落于苏州昆山,以化学分析为基础,提供半导体和泛半导体高纯化学分析检测服务、以及超净实验室设计和完整配套等全面解决方案。