关于超纯化学品
超纯化学品,熟名湿电子化学品,又称超净高纯试剂或工艺化学品,是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂,是重要的晶圆制造材料之一。
用于工艺过程的超纯化学品的包装一般使用槽车或者200L塑料桶,而半导体化学实验室专用超纯化学品需要更高更稳定的品质,包装需求-般都使用500 mL或者1000 mL。依据SEMI标准等级,可以划分为G3(<1ppb),G4(<0.1ppb),G5(<0.01ppb)。
化学品SEMI标准等级(见下表)
SCT可提供的超纯化学品细分种类
G5 10ppt-金属杂质小于10ppt
G4 100ppt-金属杂质小于100ppt
VPD 扫描液 10ppt
体积比:2% HF,28% H202,70% UPW
其他超纯化学品&定制浓度化学品
为什么选择赛米肯品牌超纯化学品
1、使用经过特殊清洗工艺处理的日本定制PFA试剂瓶
2、长效的抗污染的包装方法
3、每瓶附检测报告(COA)