超纯化学品，熟名湿电子化学品，又称超净高纯试剂或工艺化学品，是指主体成分纯度大于 99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂，是重要的晶圆制造材料之一。 

用于工艺过程的超纯化学品的包装一般使用槽车或者200L塑料桶，而半导体化学实验室专用超纯化学品需要更高更稳定的品质，包装需求一般都使用500 mL或者1000 mL。依据SEMI标准等级，可以划分为G3(<1ppb), G4(<0.1ppb), G5(<0.01ppb)。