第一部分  什么是SEMI F57标准

关于我们常听到的SEMI F57的标准全称是 SEMI F57 - Specification for Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems SEMI F57：用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。

在这个标准里，SEMI（国际半导体产业协会）规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。主要用于对聚合物材料（尤其值得注意的是含氟聚合物）和组件的性能要求和验证。

SEMI F57标准适用的主要产品类别有：

Ⅰ. 半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备；

Ⅱ. 管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器；

第二部分 关于SEMI F57 测试项目

1.SEMI F57 需要测试的4类参数：

• 阴离子污染

• 金属离子污染

• 总有机碳 TOC

• 表面粗糙度

2. 不同产品对应的测试项目

3标准要求及测试方法

3.1 阴离子污染：

• 总共8类离子，其名称和限值如表1

• 测试方法：离子色谱

3.2金属离子污染：

• 总共22类离子，其名称和限值如下表

• 测试方法ICP-MS

3.3 总有机碳TOC： 限值≤40000 ug/m2

3.4 粗糙度：

• 对于不同工艺的产品表面粗糙度如下表

• 测试方法：AFM，共聚焦显微镜

SCA服务内容

苏州赛米肯分析技术有限公司（SCA）具备丰富的F57测试经验，协助半导体聚合物及相关组件供应商，以及化学品输送生产设计企业满足SEMI标准要求，尤其在元素分析、阴离子分析等方面有先进前处理方法，确保结果的准确性。