在半导体行业中，超纯水扮演着至关重要的角色。为了确保半导体产品的质量，超纯水中的金属杂质含量需要精确控制。ICPMS作为一种最高效且最常用的分析工具，被广泛应用于测量超纯水中金属元素的含量。然而，使用ICPMS进行测量时，您的超纯水中金属测试结果真的准确吗？

事实上，影响超纯水测试准确性的因素非常多，以下列举了几个常见情况。

1、取样的规范性，重点在于如何避免污染。

2、PFA取样瓶的选择、标准流程清洗和是否干净的确认。

3、仪器背景等效浓度的监控和确认。

4、什么时候可以直接使用超纯水绘制标准曲线。

5、超纯水是否需要酸化处理，以及如何控制酸化污染。

6、仪器不同样品基体交叉测试后，比如测试过硫酸或磷酸等样品后，Cu、Zn、Ti、Ge、Mo等元素的质谱干扰消除方式的特殊选择。

7、外标法和标准加入法的不同选择，对测试结果的影响。

当您希望直接显示背景等效浓度（BEC）和检出限（DL）时，往往会选择外标法进行标准曲线处理，这个时候，就得尤其注意曲线空白的背景信号了，因为背景信号过高，很容易导致测量结果错误性地假阴性偏小。

ICPMS建立的线性标准曲线，即信号强度与金属元素浓度之间呈现线性关系：y=ax+b，然而，如果空白背景信号较高，标准曲线的截距b（零点信号值）也会相应增加。当测量超纯水样品时，样品的信号强度为y，将该信号值代入标准曲线的计算公式中，获得的金属元素浓度x的最终数值往往会假阴性偏低。