当前位置:首页资讯中心原创分享 » 评估化学品分配系统金杂浸出新技术-动态萃取(
根据上篇动态提取的试验方案,本期我们进一步讨论部分具体的研究和数据:
动态提取不同于传统的提取方法,它可以测量和预测提取率的变化。此外,长期积累大量测试结果后,可用于为特定材料和部件构建提取金属的"指纹"库。这些指纹库可用于鉴定实际设备中金属杂质的来源。
上图就是文献报道的实际动态萃取案例,具有高浸出率的过滤器(过滤器 A)中的铝和钙的浓度随着时间推移,浸出水平显着增加,而过滤器 B(具有较小浸出率的过滤器)中任何元素都没有显着增加。
综合来看,随着时间推移,一般萃取率(金属每天的浸出质量,μg/day)都会逐渐下降,但是不同洁净度的过滤器(A和B)浸出率差异很大,如下表1,也证明了进行必要的分析测试,对区分不同零部件品质具有重要意义。
充分利用动态萃取数据,依据经典的传质模型出发,可以进一步建立模型,拟合出各金属杂质在不同聚合物组件中的传质系数,这对预测组件在实际使用工况下的运行效果有重要指导意义,特别是提供了两点关键信息:1.能预测冲洗指定时间后,系统能达到的洁净度水平;2预测系统需要多长时间冲洗运行,才能将金属降低到指定规格Spec内;
上表2就是个文献报道实际案例;揭示了不同品质的过滤器 A 和 B, 分别安装到化学品分配系统中后,预期浸出的污染物量;以及过滤器下降到指定浓度下(一般为规格限浓度),需要对其进行清洗的持续时间。
结论:
①一种测量组件中金属萃取的新方法,即动态萃取,克服了与传统方法相关的许多问题。由于动态萃取测量萃取随时间的变化,因此可用于确定萃取率,评估组件污染对工艺化学品的影响,并预测金属提取高于规格的持续时间。
②通过使用多个样品可以最大限度地减少分析和采样误差。
③结合部件原材料中的金属污染物信息,再与零部件动态提取的污染物信息进行比较,有助于快速识别污染来源并优化工艺和制定规格;
④ 动态萃取提供了更全面的污染物信息,对零部件原材料企业、零部件企业、和零部件下游用户提供了有意义的数据,是行业分析方法的发展方向。
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1、高洁净度实验室,配套业内高等级的UPW水系统、关键区域执行在线颗粒度监测、并保证100%使用高纯化学品进行测试;
2、定制的零部件表面洁净度测试装置(均经过严格预清洗,保证极低的baseline水平);
3、丰富的半导体零部件和子系统的测试经验,具备静态和动态萃取测试能力,服务涵盖各类湿法工艺设备配套的管道、阀门、O形圈和过滤器;及蚀刻、薄膜等工艺涉及的关键腔体内部件,服务范围如下表:
4、叠加国际一线VPD机台,具备晶圆表面污染测试能力;
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