因为PFA材质的洁净度以及耐HF酸性能出色，半导体行业中会大量使用PFA的样品瓶作为试剂/样品的存储容器或定量容器。PFA的洁净程度对存储的试剂/样品的元素影响是直接和巨大的，而随着样品瓶的元素会不断被浸出，这种影响并不会因为清洗而消失。所以PFA样品瓶的元素溶出也会对试剂/样品的影响需要详细的评估。
 
 方法及仪器
赛米肯科技收集市场常见的几种PFA样品瓶采用SEMI-F57的标准在标准温度下使用UPW进行浸出模拟，处理后的浸出液使用安捷伦ICPMSMS8900对半导体行业关注的11种元素进行痕量级元素分析。通过结果的横向比较，能够初步得到市面不同PFA材质样品瓶元素浸出可能的评估。





结论
通过以上实验，我们得到以下基本结论：
1. 从图二可以看出，市面常见的PFA样品瓶浸出液元素含量差距比较大；
2. 较差的PFA样品瓶的元素影响将超过超纯样品本身含量，对样品测试结果影响巨大，如果需要得到准确数据，则需要慎重选择样品瓶；
3. 表一中，C公司样品瓶价格最低，A公司样品瓶价格最高。可以看出，价格较低的产品有可能元素含量较高，但价格最高的产品并不一定质量更好。
 
赛米肯分析是半导体化学分析的专业第三方，我们确保无论是取样方法还是测试方法都做到准确、可靠，尤其善于为每个客户做出对应的定制化的方案。如对PFA样品瓶浸出测试方法或测试结果需要进一步咨询和了解，欢迎联系我们。